PVD清洗是通過化學或(及)物理的方法將工件上的油污、銹跡、灰塵等去除干凈，確保工件獲得較好的涂層結合力和生產的順利進行。清洗是PVD涂層前必不可少的一道工序，也是PVD涂層生產中最重要的工藝，清洗出了問題，涂層生產不得不延遲、涂層過程可能中斷、或涂層結合力出現問題而導致客戶投訴和賠償，尤其是在涂層設備的技術能力不高的情況下，清洗出了問題，更容易發生上述風險。

有四個因素影響著清洗的質量，分別為：清洗時間、化學藥劑、機械作用以及清洗液溫度，這四個因素之間也相互影響，一個因素的減弱，可以通過增強另外三個因素的作用來彌補，反之亦然。在這四個因素中，清洗時間的最小化也是追求的目標，這樣可以提高清洗的效率．縮短生產時間和交貨周期。

清洗主要方法和步驟應包括：化學藥劑噴淋、化學藥劑浸泡與超聲波清洗、漂洗、烘干。

1)化學藥劑噴淋
噴淋對于清洗來說非常有效，它能夠清除掉工件上絕大部分油污及污染物。

2)化學藥劑浸泡與超聲波清洗
超聲波是一種頻率超出人類聽覺范圍20 kHz以上的聲波。超聲波的傳播要依靠彈性介質，其傳播時,使彈性介質中的粒子振蕩,并通過介質按超聲波的傳播方向傳遞能量,這種波可分為縱向波和橫向波。在固體內,兩者都可以傳送,而在氣體和液體內,只有縱向波可以傳送。超聲波能夠引起質點振動,質點振動的加速度與超聲頻率的平方成正比。

在純粹的化學藥劑浸泡清洗中，清洗溶液首先溶解工件最表層的污染物，并逐漸向污染層內部滲透溶解，在這個過程中，在工件表層會逐漸形成一層溶解飽和層．這層飽和層將新鮮的化學清洗液與深層的污染物隔離，阻礙清洗液對深層污染物的繼續溶解，如果這層飽和層不能被破壞去掉，清潔就停止了。對于比較臟的工件，純粹的浸泡清洗方式很難將工件徹底清潔干凈。利用超聲波的“微型刷子”的作用就可以破壞掉表層的溶解飽和層，新的化學藥劑到達較深的污染層繼續溶解，超聲波接著繼續破壞掉新形成的溶解飽和層，如此循環，清潔不斷進行下去，直到工件被清潔干凈。

3)漂洗
漂洗是為了將殘留在工件上的清洗液或其他臟物徹底清理干凈，使工件在烘干之前更加干凈。

4)烘干
清洗完的工件一般放入烤箱中烘干，烤箱包括箱體、排水管路、加熱系統、排風系統及溫度控制系統。