1.既然添加銅可以防止鋁尖峰現象,為何只添加0.5%?

答:太多銅,會造成蝕刻困難(銅的氯化物不易揮發)

2.為何PVD的靶材需要冷卻?

答:避免target表面溫度過高,(造成蒸鍍現象,使得金屬film 的質量不穩定)

3.為何機臺必須使用冷卻水時,必須控制水質純凈?

答:防止結垢,或絕緣

4.PVD和CVD涂層在選擇應用上有什么區別?

答:PVD相比CVD要薄,CVD的涂層厚度是10~20μm, 而PVD 的涂層厚度只有3~5μm 左右.PVD的處理溫度大概在500℃左右,而CVD 的爐內溫度在800~1000℃.由此可見,正因為溫度很高,所以CVD 對其被處理的材料有耐高溫的要求.我們在CVD 處理的刀具上幾乎看不到除了硬質合金以外的其他材料,因為主流的切削材料中只有硬質合金才能承受那么高的溫度.

除此之外,CVD涂層由于其厚度較厚,處理溫度較高,在冷卻時表面容易產生拉應力,從而形成細微的裂縫.這些裂縫在受到外力沖擊的情況下( 譬如: 銑削) 容易擴展,一旦擴展到貫穿整個涂層時就會發生涂層剝落, 從而使刀具基體失去涂層的保護.所以,CVD涂層的刀具被大量應用在車削刀片上,因為車削在整個切削過程中,承受的切削力是均勻而且連續的,此時CVD涂層由于厚度帶來的耐磨特性就會體現的很明顯.

反觀,以銑削為代表的斷續切削.在切削過程中,刀刃的不斷切入切出沖擊著涂層及刀具表面.PVD較低的處理溫度(500℃左右),使它在冷卻過程中會形成壓應力而非拉應力,從而產生阻止裂縫生成及擴展的效果.另外,由于PVD 涂層厚度薄,對刀刃的幾何形狀改變不大,可以在很大程度上保留了刀刃的鋒利程度也減小了切削力和切削熱的產生.綜上所述,可見PVD 更適用于斷續的銑削加工的情況以及幾乎所有的整體類刀具.

5.為何使用Ar來做PVD濺鍍的氣體來源?

答:①.鈍氣,不易起化學變化

②.質量重 (AMU 40),濺擊效果好

③.價格便宜

6.為何機臺測漏,喜歡使用氦氣來檢漏?

答:① 氦氣在大氣中的含量很低,避免誤判.

② 氦氣滲透力強,很容易檢漏

③ 氦氣為鈍性氣體,不易造成機臺污染或腐蝕.

7.PVD制程中,鍍膜之前為何需要預先去除原始氧化層?

答:預先去除原始氧化層,讓金屬層之間電阻不會過大以及增加膜與襯底的結合力.

8.為何機臺必須使用冷卻水?

答:控制溫度,以防溫度太高,造成機臺破壞

9.接觸到HF(氫氟酸)該如何急救?

答:① 至沖身洗眼器處,大量沖水15分鐘以上

② 到醫務室在患部大量涂抹葡萄酸鈣

③ 由醫務室人員判斷是否送醫

10.接觸到強酸或強堿應如何處理?

答:① 至沖身洗眼器處,大量沖水15分鐘以上(硫酸例外)

② 到醫務室做適當的處理

③ 由醫務室人員判斷是否送醫。