一、當正在鍍膜時真空度突然下降
1.蒸發源水路膠罔損環(更換膠罔)
2.坩堝被打穿(更換坩堝)
3、高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈)
4.工轉動密封處膠圈損壞(更換膠圈)
5、預閥突然關閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥)
6、高閥突然關閉可能是=位五通閥損壞(更換二位五通閥)
7.機械泵停機可能是繼電器斷開(檢查繼電器是否工作正常)
8、烘烤引入線電極密封處被擊穿(更換膠罔)
9.擋板動密封處膠固損壞(更換膠園)
10. 玻璃觀察視鏡出現裂紋、炸裂(更換玻璃)