PVD涂層中溫度的影響
來源:長辰實業 日期:2020-06-12
PVD即物理氣相沉積,是當前國際上廣泛應用的先進的表面處理技術。
PVD涂層是一個復雜的過程,尤其是運用在工模具上的PVD涂層對涂層各個方面的性能都要求非常高,在涂層的工藝過程中有很多因素會影響到涂層的性能。
1、膜層的生長提高溫度,有利于改善膜層的組織和性能。合適的溫度下400-600℃,TiN,TiAlN等涂層會獲得較好的硬度和結合力。
2、pvd涂層過程中溫度與結合力、硬度等并非呈線性關系,涂層過程中溫度過低,膜層生長不充分,表面粗糙,耐蝕性和顯微硬度下降。溫度過高,易生成粗大柱狀晶。造成基體材料組織惡化,結合力下降,膜層性能下降。
3、基材溫度的升高,能夠清除揮發性殘渣,增強表面擴散和再結晶能力。界面反應加速,底層雜質擴散?;娜诨?。增加結晶粒子的尺寸。促進再結晶界面外延生長,減少內部應力,增加步驟覆蓋,增加與基片的相互物理化學作用需要的涂層溫度取決于工件的金相結構、熱處理、工件幾何形狀,例如,銳邊,薄片快速加熱并且溫度測量十分困難?;‰娏?、基體偏壓和反應氣壓也會影響到溫度??蓮?80℃開始涂層。工件要在不會引起材料物理變化的溫度下涂層。
4、pvd涂層溫度超過回火點,使工件變軟。
5、如涂層真空室零件較少圍繞的工件將聚集更多等離子體,將導致更高的工件溫度和更高的沉積率。
長辰實業制造體系現有PVD真空電鍍公司、納米噴涂公司、EMI電磁屏蔽公司、研發中心、2300夢想商學院等生態關聯產業。并且為了更好的配合市場的腳步及國際品牌的品質要求,并設有拋光拉絲部;平面研磨部;水鍍事業部;鍍金(爐內/爐外)事業部;PVD事業部(全電/間電/多色);UV防指紋事業部;納米噴涂事業部;EMI電磁屏蔽事業部;新材料開發事業部;并配有齊全的各種檢測儀器:鹽霧測試機、耐磨測試機、色差觀察機、PCA、色差儀、百格、高低溫、人工汗測試機、膜層測量器等。
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